NANO반도체 제조를 위한 실제 인식형 AI 개발 라이프사이클
무엇을 모르는지 스스로 아는 자율 계측 에이전트. 편향된 시뮬레이션 prior와 희소한 측정으로부터 실제를 추정하고, 어디가 불확실한지 정량화한 뒤, 다음에 측정할 가장 가치 있는 다이를 선택한다.
Team NANO · AI Development Lifecycle Hackathon
모델은 보유한 데이터에서 좋은 점수를 내면서도 웨이퍼에 대해서는 틀릴 수 있다. 수백만 개 다이를 전수 검사하는 것은 불가능하므로 모든 데이터셋은 표본이고, 모든 표본은 지표에 드러나지 않는 편향을 안고 있다. 높은 정확도는 실제에 대한 신뢰도와 같은 것이 아니다.
제약 01
측정할 수 있는 다이는 극히 일부다. 나머지는 그렇게 부르든 부르지 않든 추론이다.
제약 02
시뮬레이션은 웨이퍼 전체를 덮지만 체계적으로 어긋나 있다. 측정은 정확하지만 거의 아무 곳도 덮지 못한다.
제약 03
SEM과 TEM은 매우 좁은 시야(FOV)만 보고, 샘플링 계획은 편한 위치를 반복해서 다시 찾는 경향이 있다.
제약 04
공정과 계측 테이블은 빈칸을 포함한 채 도착하므로, 피처 공간 자체가 부분적으로만 관측된다.
NANO는 AI 개발 라이프사이클(AI DLC)을 다시 정의한다. 마침 존재하는 데이터로 학습하는 대신, 정해진 측정 예산 안에서 실제를 이해하는 데 필요한 데이터를 능동적으로 획득한다.
측정 한 번당 얻는 실제에 대한 지식을 최대화한다.
도식일 뿐입니다. 이 필드는 루프를 설명하기 위해 이 페이지 안의 결정론적 수식으로 생성한 것입니다. WM-811K 웨이퍼도, 벤치마크 출력도 아닙니다.
관측 → 추정 → 선택 → 측정 → 다시 관측으로. 측정 예산 한 단위마다 한 번씩 돈다.
지금까지 확보한 소수의 실측값과, 모든 다이에 대한 시뮬레이션 prior를 함께 읽는다.
실제에 대한 공간 모델을 적합해 예측, 불확실성, prior와 실제의 격차 세 가지 맵을 만든다.
측정되지 않은 모든 다이를 획득 함수로 채점하고, 최대값을 다음 측정 지점으로 고른다.
해당 다이의 숨겨진 실제 값을 확인해 관측 집합에 추가하고, 예산 1단위를 소모한다.
측정 예산이 소진될 때까지 반복한다. 매 반복이 기록되므로 의사결정 경로를 추적할 수 있다.
이 에이전트는 예측만 하지 않는다. 불확실성을 정량화하고 다음에 무엇을 측정해야 하는지 결정한다. 보간이 아니라 그 결정이 이 프로젝트의 기여다.
NANO
0.3479failure probability
± 0.0524
↓ 낮을수록 좋음
전체 예산 소모 후 최종 Balanced MAE
Random 베이스라인
0.3812failure probability
± 0.0527
↓ 낮을수록 좋음
동일한 예산, 동일한 초기 관측
Grid 베이스라인
0.3714failure probability
± 0.0494
↓ 낮을수록 좋음
공간적으로 균일한 선택
제거된 prior 오차
20.5%
편향된 시뮬레이션 prior 대비 보정된 추정
웨이퍼 12개 × 시드 5개 · 측정 예산 60 · Balanced MAE ↓ 낮을수록 좋음 · 생성 출처: results/benchmark_summary.json. 전체 결과 →
95% 신뢰수준에서 Random, Grid와 구분되었다(페어링 에피소드 기준).
이 사이트의 모든 숫자는 저장소 안의 단 하나의 결과 파일 — WM-811K 웨이퍼 12장 × 시드 5개 실행 — 에서 생성된다. 페이지에 손으로 써넣은 값은 없으며, 아티팩트가 없는 페이지는 값을 지어내는 대신 없다고 말한다.
저장소를 클론하고 벤치마크를 실행하면 이 사이트의 모든 그림이 다시 생성된다.
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